近日，工业和信息化部正式公示2026年度卓越级智能工厂项目名单，中微半导体（上海）有限公司（以下简称“中微公司”）申报的“全链协同的微观制造半导体装备智能工厂”项目成功入选。此次入选是对中微公司临港产业化基地在数字化、智能化转型领域取得突破性成果的权威认可。
据了解，智能工厂梯度培育行动由工业和信息化部、国家发展改革委、财政部、国务院国资委、市场监管总局、国家数据局六部门联合开展，分层分级推进，入选企业经企业申报、市级专家与国家级专家评审等多重严格环节遴选产生。其中卓越级智能工厂定位为“全国领先的发展标杆”，要求企业已完成先进级智能工厂建设，实现设计生产经营数据集成贯通与分析、生产过程及供应链综合优化，推动多场景智能化应用。
此前，中微公司临港产业化基地已先后获评临港新片区智能工厂、上海市先进级智能工厂。此次，中微公司凭借在半导体装备制造领域的深度数字化实践和系统化AI应用成果，再次从众多申报企业中脱颖而出，成为2026年全国唯一获此殊荣的半导体装备制造工厂。
半导体是数码产业的“基石”，高端半导体设备更是芯片制造的核心命脉。锚定国家半导体产业自主可控，中微公司于 2021年启动临港产业化基地建设，总占地157亩，聚焦刻蚀机、薄膜设备等高端半导体装备研发与制造。
面向半导体高端装备制造的管理特点，中微公司以数字化、智能化双轮驱动促发展，上线 ERP、MES、PLM 等40余套业务系统，打通研发、生产、供应链全数据链路，实现全域高效运营，达成产品研制周期由3-5年缩短至2年内、机台交付周期缩短近40%、库存周转提速约48%的显著成效。面向 “AI + 制造” 前沿方向，中微公司组建近百人规模的AI研发团队，临港产业化基地已落地12个AI应用场景，本地部署多套基础大模型，构建结构设计、工艺优化、设备运维等9大智能体应用，全面服务于产品研发设计、生产质量管控等环节。
从虚拟仿真验证缩短控制系统验证周期76%，到AI视觉检测保证精密装配提升检测效率80%；从智能晶圆调度系统提高机台产能15%，到全链路构建数智精益体系助力运营管理 —— 一系列智能化场景的落地，让中微公司临港产业化基地实现了精密制造与柔性生产的深度融合。
中微公司临港产业化基地2023年建成投产，投用后整体效能提升显著，已成为临港集成电路产业集群的核心增长力量。在产业带动层面，基地已牵引近20家上下游配套企业集聚临港，成为临港新片区 “东方芯港” 世界级集成电路产业集群建设的重要节点。
(责任编辑：佟明彪)
